在一般材料的激光切割过程中，由于切割速度较快，零件产生的热变形很小，切割零件的尺寸精度主要取决于激光切割机的工作台的机械精度和控制精度。在脉冲激光切割加工中，采用高精度的切割装置和控制技术，尺寸精度可以到um级别。
激光切割的质量评价，国际上至今还没有一个统一的标准。至今我国也尚无有关激光切割质量的标准，检测激光切割质量的主要依据是JIS和WES（焊接规格）。在CEN（欧洲标准化机构）和ISO（国际标准化机构）中有关于激光切割的标准化问题。以EU为主提供的有关ISO9000系列质量保证方法，对激光切割标准和标准试样规定等进行了研究，其内容包括：切割质量等级划分、设定样品和加工样品的标准、光学系统、价格样品的机种及光束特性等。
对于激光切割加工而言，评价其加工质量主要包括以下几个原则：
1.切割光滑、无条纹、没有脆性断裂；
2.切缝宽度窄，这主要与激光束光斑直径大小有关；
3.切缝垂直度好，热影响区小；
4.没有材料燃烧，没有熔化层形成，没有大的熔渣；
5.切口表面粗糙度，表面粗糙度的大小是衡量激光切割表面质量的关键。
除了上述原则外，加工过程中熔化层的状态和很终成型，直接影响着上述加工质量评价指标。
