二元光学匀光系统

基于光学衍射原理的二元光学技术是近些年发展起来的光学领域中的新技术。二元光学器件是光学与微电子学相结合的一种浮雕型光栅器件。这种光电子领域的新型功能器件是通过光的衍射来控制光的传播方向。其构思是根据要求输出的光束结构来确定器件的复振幅反射率或复振幅透过率调制函数,选择材料。

确定三维结构,利用计算机辅助设计和微电子学工艺技术制造出微型相位光栅。该器件具有很高的衍射效率、独特的色散性能、更多的设计自由度、宽广的材料和参数选择性、集成化和阵列化等优点,可广泛应用于光束波前整形和重建、光東匀滑、光東分東与合束、像差娇正、光東准直、长焦深器件、激光聚焦矫正、坐标变换等方面。

采用二元光学器件的二元光学匀光系统已成功地将椭圆高斯光束变换为均匀圆光束。将圆形高斯光束变换成矩形、三角形、线形等形状的均匀光束,同时实现了改变光束形状和能量分布均匀化的功能,国内在大功率激光加工,如激光表面热处理、激光淬火等方面已有应用。

二元光学技术还可以将半导体激光器发出的椭園像散光束准直整圆并消像散:用作激光聚焦矫正器,补偿透镜的色差,使准直激光(如632.Snm的氦氖激光)和应用激光(如10.6μm的CO₂激光)聚焦于同一点等。

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