激光器的全反射镜、导光系统中的高反射率转折镜和光路中的反射镜等是反射型光学元件。反射型光学元件不存在色散，其光学特性是对不同波长光的反射率不同。用于反射型光学元件的材料应在工作波段有良好的反射率对于红外激光，用来制作反射镜的材料有铜、钼、硅、诸等、金、银、铜对CO₂激光的反射率和热导率较大，很容易导出表面吸收的激光能量，所以破坏阈值很高，适合制作CO₂激光器的反射镜。
纯铜硬度低，不易进行光学抛光，一般是将铜粗磨后镀镍、铬，再精密抛光，镀金或红外介质膜。镀金可以提高铜镜的反射率和抗腐蚀与抗氧化能力，红外介质膜可以提高反射率和保护镀金表面。近年来发展起来的金刚石精密车削技术能直接车削出高精度的铜镜，加以镀膜用作反射镜。
钼镜的硬度高，熔点高，激光加工中的溅射物不易粘附在表面，可擦拭污染表面，所以易污染的加工部位可选用钼镜。
硅的热导率很大，线胀系数很小，只有铜的15%,因而不易受热畸变，热稳定性好，其硬度很高，便于进行光学抛光。硅对CO₂激光的反射率低而吸收率高，抛光镀膜后可用作反射镜，但其破坏阈值低，一般在低功率密度下使用。
锗是CO₂激光10.6μm波长的透射材料，反射率很低，镀膜后反射率可达99%以上。锗的硬度也很高，便于进行光学抛光，但它的吸收率随温度的变化很大。只适合于制作低功率激光器。
砷化镓的吸收率小，基底材料抗破坏阈值大于1.5x105W/c㎡,尽管它对红外线的反射率很低，但经过镀膜后反射率可达99%以上，可以用作高功率激光器的反射镜。
